透明薄膜通过O2 Plasma转化为固态掺杂
代替掺杂的旋涂玻璃在一些应用中代替离 子植入代替ampoule中锌掺杂
主要用于保护微纳结构免受酸、碱或其他腐蚀性液体的侵蚀,使用时将这一材料旋涂于需要保护的微纳结构之上,操作完毕之后可将这一涂层清洗下去,从而保留完整的微纳米结构。
平坦化层 – 转移平坦层到下面的介电质的刻蚀后加工过程,机械保护层 – 划片和切割操作中临时粘合层
在一些应用中代替化学机械抛光平坦化处理。 刻蚀后加工处理时抑制微负载的影响。 划片时消除膜剥落和破裂的情况 在背部减薄和晶片分离后很容易在去除剂RD3或RD6中去除。
平坦化层 –转移平坦层到下面的介电质的刻蚀后加工过程,机械保护层 –划片和切割操作中临时粘合层
优异的平坦化性能厚度范围:0.5 ~ 20.0 μm
在一些应用中代替化学机械抛光平坦化处理刻蚀后加工处理时抑制微负载的影响划片时消除膜剥落和破裂的情况在背部减薄和晶片分离后很容易在去除剂RD3或RD6中去除